Funktionsprinzip der Vakuumbeschichtungsmaschine

Eine Vakuumbeschichtungsmaschine ist ein Gerät, das dünne Metallfilme auf die Oberfläche eines Substrats aufträgt. Sein grundlegendes Funktionsprinzip gliedert sich in drei Schritte: Reinigung, Verdunstung und Abscheidung.
1. Reinigung
Vor der Verdampfung muss die Verdampfungskammer gereinigt werden. Da sich an der Oberfläche der Verdampfungskammer möglicherweise Oxide, Fett, Staub und andere Substanzen ansammeln, beeinträchtigen diese die Qualität des Films. Bei der Reinigung kommen in der Regel chemische oder physikalische Verfahren zum Einsatz.
2. Verdunstung
Das gewünschte Material wird über seinen Schmelzpunkt erhitzt, sodass es gasförmige Moleküle bildet. Die gasförmigen Moleküle entweichen dann in der Vakuumkammer in die Verdampfungskammer. Dieser Vorgang wird als Verdunstung bezeichnet. Temperatur, Druck und Verdampfungsgeschwindigkeit beeinflussen die Zusammensetzung, Struktur und Eigenschaften des Films.
3. Hinterlegung
Die gasförmigen Moleküle des Materials in der Verdampfungskammer gelangen über das Vakuumrohr in die Reaktionskammer, reagieren mit dem aktiven Material und scheiden das Produkt dann auf der Oberfläche des Substrats ab. Dieser Vorgang wird Sedimentation genannt. Auch Temperatur, Druck und Abscheidungsgeschwindigkeit beeinflussen die Qualität und Leistung des Films.
2. Bewerbung
Vakuumbeschichtungsmaschinen werden häufig in der Materialwissenschaft, Optik, Elektronik und anderen Bereichen eingesetzt.
1. Materialwissenschaft
Vakuumbeschichtungsmaschinen können dünne Filme aus verschiedenen Metallen, Legierungen, Oxiden, Silikaten und anderen Materialien herstellen und werden häufig in Beschichtungen, optischen Filmen, optischen Speichern, Displays, Transistoren und anderen Bereichen eingesetzt.
2. Optik
Mit der Vakuumbeschichtungsmaschine können Metall- und Legierungsfilme mit hohem Reflexionsvermögen sowie optische Filme mit Sonderfunktionen hergestellt werden. Diese Folien können in Solarmodulen, Hochleistungselektronenmikroskopen, Aerogelen, UV/IR-Sensoren, optischen Filtern und anderen Bereichen eingesetzt werden.
3. Elektronik
Vakuumbeschichtungsmaschinen können nanoskalige elektronische Materialien und mikroelektronische Geräte vorbereiten. Diese Filme können in Nanotransistoren, magnetischen Speichern, Sensoren und anderen Bereichen eingesetzt werden.
Kurz gesagt, die Vakuumbeschichtungsmaschine kann nicht nur verschiedene Dünnschichtmaterialien vorbereiten, sondern je nach Bedarf auch Dünnschichten mit speziellen Funktionen. Zukünftig wird die Vakuumbeschichtungstechnologie stärker eingesetzt und gefördert.